PECVD-uuni

1. Tyyppi: 1200 asteen liukusäädintyyppinen kaksivyöhyke PECVD-järjestelmä
2. Vaihenumero: Yksivaiheinen
3. Termoparin tyyppi: K-tyyppi
4. Malli: TOB-DSP-1200 tutkinto -PECVD
5.MOQ:1 sarja

Lähetä kysely

Keskustele nyt

Tuotteen esittely

1200 asteen liukusäädintyyppinen kaksivyöhyke PECVD-järjestelmä

Erittely

Malli	TOB-DSP-1200 tutkinto -PECVD-I	TOB-DSP-1200 tutkinto -PECVD-II		TOB-DSP-1200 tutkinto -PECVD-III	TOB-DSP-1200 tutkinto -PECVD-IV
Tehoa	3 kW	3 kW		4 kW	4 kW
Uunin putken koko (mm)	Halkaisija 60 (OD) X 1800 mm	Halkaisija 80(OD) X1800mm		Halkaisija 100 (OD) X 1800 mm	Halkaisija 120 (OD) X 1800 mm
Ulottuvuus	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Virtalähteen jännite	220V
Vaiheen numero	Yksivaihe
Ohjaustila	Yudian lämpötilan säätö 30 lohkoa voi käyttää vain PID-lämpötilan säätöä. FP93 lämpötilansäätö (Japanista) (Vaihda tuodut instrumentit lisämaksusta) 1,40 osan ohjelmalämpötilan ohjaus voidaan jakaa 4,2,1 ryhmäohjelmaan, jos ohjelma on jaettu neljään ryhmään, jokainen ohjelmalohko 10, 2,6-ryhmän PID-säätö, matala, keski- ja korkea lämpötila voi kullakin sarjalla PID, niin että jokainen segmentti pystyy säätämään lämpötilaa on erittäin tarkka.
Lämpötilan säätötila	Älykäs PID
Burnout-suoja ja näyttö	Joo
Ylikuumenemissuoja	Joo
Ylivirtasuoja	Joo
Ohjauksen tarkkuus	+/- 1 astetta
Laukaista	Vaiheenvaihdon liipaisin
SCR	106 / 16E Saksa Simon Kang
1,2 lämpötilavyöhykkeen maksimilämpötila	1200 astetta
1,2 lämpötilavyöhyke Nimellislämpötila	1150 astetta
Lämmitysnopeus	Alle tai yhtä suuri kuin 30 astetta/min (saatavissa pyynnöstä)
Suositeltu lämmitysteho	Vähemmän tai yhtä suuri kuin 15 astetta / min
Lämpöparin tyyppi	K tyyppiä
Lämmityspituus 1,2 lämpötilavyöhykettä	205 mm
Ympäröivän pinnan lämpötila	Vähemmän tai yhtä suuri kuin 45 astetta
Plasma RF teho	Lähtötehoalue		0-500W
	Suurin heijastusteho		10W
	Signaalin taajuus		13,56 MHz ± 0,005 %
	Melu		<30 dB
	Ilmajäähdytys		jäähdytysmenetelmä
	Syöttöteho		208-240V 50 / 60 HZ
GX-syöttöjärjestelmän pääparametrit	Vakioalue		Protonivirtauksen ohjain 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (voit valita minkä tahansa mittakaavan)
	Tarkkuus		± 1.5%
	Paineen lasku		<0.01MPa
	Toistettavuus		± 0.2% F.S
	Max Käyttöpaine		3 MP
VS-0.1 pakojärjestelmä	virtalähde		220V / 380V 380W
	Pumppausnopeus		2L / S
	Resistanssityhjiömittari		ZDR-I
	Tyhjiön mittausalue		0.1-10 5 Pa
	Tyhjiöpumppu		VRD-8
	Aallotettu putki		KF25X1000mm
	Tyhjiöjärjestelmä		10 -1Pa